No se conoce el número exacto de criminales nazis, pues la documentación disponible es incompleta. Los mismos nazis destruyeron gran cantidad de documentos incriminatorios y aún quedan muchos criminales sin identificar y/o procesar.
Entre los que cometieron crímenes de guerra se incluyen los que iniciaron, planearon y dirigieron las operaciones de exterminio, así como también aquellos que sabían que se estaba llevando a cabo el asesinato de los judíos europeos, estuvieron de acuerdo con esto o participaron en forma pasiva.
Entre los que realmente implementaron la «Solución Final» se cuentan los líderes de la Alemania nazi, los líderes del partido nazi y la Oficina Principal de Seguridad del Reich. Se incluyen además millares de miembros de la Gestapo, la SS, las Einsatzgruppen, la policía y las fuerzas armadas, así como también aquellos burócratas que estuvieron involucrados en la persecución y exterminio de la comunidad judía europea. Hubo miles de personas en toda la Europa ocupada que cooperaron con los nazis en el asesinato de judíos y otros civiles inocentes.
No se cuenta con estadísticas completas que indiquen el número de criminales llevados a juicio, pero se sabe que son muchos menos de los involucrados en la «Solución Final». Los líderes del Tercer Reich, atrapados por los Aliados, fueron procesados por el Tribunal Militar Internacional en Nuremberg entre el 20 de noviembre de 1945 y el 1 de octubre de 1946.
Posteriormente, las autoridades de ocupación de los Aliados continuaron enjuiciando a nazis; los juicios más importantes se desarrollaron en la zona estadounidense (los Procesos de Nuremberg Posteriores).
En total, entre 1945-1949 fueron condenados 5.025 criminales nazis en las zonas estadounidense, británica y francesa, además de un número indeterminado de personas que fueron llevadas a juicio en la ex-zona soviética.
Asimismo, la Comisión de Crímenes de Guerra de las Naciones Unidas confeccionó listados de criminales de guerra que más tarde fueron procesados por la judicatura de los países aliados y de los países que durante la guerra se encontraban bajo el dominio nazi. Estos últimos realizaron gran cantidad de juicios con relación a crímenes cometidos en sus territorios. Los tribunales polacos, por ejemplo, procesaron a aproximadamente 40.000 personas, y un gran número de criminales fueron llevados a juicio en otros países. En suma, hubo alrededor de 80.000 alemanes sentenciados por perpetrar crímenes contra la humanidad, mientras que el número de colaboradores locales supera los varios millares. Debe destacarse la participación de Simon Wiesenthal, cuyas actividades condujeron a la captura de más de mil criminales nazis.
Las cortes de Alemania comenzaron a trabajar, en algunos casos, ya en 1945. Hacia 1969, casi 80.000 alemanes habían sido investigados y más de 6.000 habian sido sentenciados. En 1958, la ex-República Federal de Alemania (RFA, ex-Alemania Occidental) establecieron una agencia especial en Ludwigsburg a fin de colaborar con la investigación de los crímenes cometidos por alemanes fuera de Alemania. Dicha agencia, desde su fundación, participó en cientos de investigaciones importantes.
Unos de los mayores problemas con respecto a los juicios de criminales de guerra en la RFA (al igual que en Austria) era que las sentencias resultaban exageradamente clementes en proporción a los crímenes cometidos. También se realizaron algunos juicios en la ex-República Democrática de Alemania (RDA; ex-Alemania Oriental), a pesar de que no existen estadísticas que indiquen el número de condenados o el alcance de las sentencias.