Los campos nazis de exterminio cumplieron la función exclusiva del asesinato en masa. A diferencia de los campos de concentración, que servían primariamente como centros de detención y trabajo, los campos de exterminio eran casi exclusivamente «fabricas de muerte».
Más de tres millones de judíos fueron asesinados en los campos de exterminio, con gas y fusilamiento.
El primer campo de exterminio fue Chelmno, que abrió en el Warthegau (la parte de Polonia anexada a Alemania) en diciembre de 1941. Más que todo judíos, pero también Roma (gitanos), fueron gaseados en camiones. En 1942, en el Gobierno General (un territorio en el interior de Polonia ocupada), los nazis abrieron Belzec, Sobibor, y Treblinka (como parte de la Operación Reinhard) para asesinar sistemáticamente a los judíos de Polonia.
Para octubre de 1943, más de 1.7 millones de judíos habían sido gaseados (con monóxido de carbono en cámaras de gas) en los campos de la Operación Reinhard. Hubo solo alrededor de 120 sobrevivientes.